納米壓痕儀是一款多功能微米、納米機械性能測試平臺。
性能，操作簡易。CETR-APEX壓痕和劃痕測試儀，配備6種容易互換的機械頭，高倍率顯微鏡和成像模塊(AFM和三維光學輪廓儀)。納米壓頭用來測量超薄涂層尤其是納米級涂層以及塊體材料的厚度、硬度、楊氏模量等。微米壓頭用于較厚涂層和塊體材料的硬度、楊氏模量等機械性能測量。納米、微米級摩擦學壓頭用于薄膜、涂層以及塊體材料的摩擦磨損測量、靜態(tài)/動態(tài)摩擦學測量、度、附著力，粘滑性等機械性能測量。
1.三個測量探頭
左側(cè)：機械性能測試，可以簡便更換納米、微米壓頭；
中部：顯微鏡，多達4個不同放大倍數(shù)的物鏡，隨意切換；
右側(cè)：掃描成像，AFM和三維光學輪廓儀隨意切換。
2.六種機械壓頭
奈米壓痕壓頭
用來測量超薄涂層尤其是奈米級涂層以及塊體材料的硬度,楊氏模量等（樣品表面需較為光滑，以確保數(shù)據(jù)可靠性) 。
奈米劃痕壓頭
主要用于奈米級超薄涂層的厚度測量、太陽能薄膜、ITO薄膜和光學涂層等)。
微米壓痕壓頭
儀器的微米壓痕壓頭用于較厚涂層和塊體材料的硬度和楊氏模數(shù)等機械性能測量。
微米劃痕壓頭
主要用于較厚涂層的微米級劃痕測量油漆、裝飾涂料等)。
毫米劃痕壓頭
用于宏觀尺度的劃痕測量。
納米、微米級摩擦學壓頭
納米壓痕儀用于薄膜、涂層以及塊體材料的磨潤測量、靜態(tài)/動態(tài)摩擦學測量、度、附著力、粘滑性等機械性能測量。
納米壓痕儀對測試的要求
1. 樣品要求：上下表面平行拋光，直徑不超過30mm，高度不超過20mm，如果高度超過10mm，直徑需保證是30mm左右，如果直徑小于10mm，那么高度建議5mm以下，利于樣品測試過程中的穩(wěn)固；如果是鑲的樣品，加工成直徑31.5mm，要不然容易打偏；
2. 特別注意：試樣厚度至少大于壓入深度h的10倍以上，壓入深度h至少是粗糙度Ra的20倍；壓入深度小于100nm數(shù)據(jù)可靠度不高；壓入深度一般2-3微米，深度再大沒有太大意義；對于表面比較粗糙的樣品，測試結(jié)果比較離散，建議測試點數(shù)不低于10個；樣品表面平整，不得有油污、顆粒物等污染物；提供樣品的泊松比；
納米壓痕儀的基本組成可以分為控制系統(tǒng)、 移動線圈系統(tǒng)、加載系統(tǒng)及壓頭等幾個部分。壓頭一般使用金剛石壓頭，分為三角錐或四棱錐等類型。試驗時，首先輸入初始參數(shù)，之后的檢測過程則由微機自動控制，通過改變移動線圈系統(tǒng)中的電流，可以操縱加載系統(tǒng)和壓頭的動作，壓頭壓入載荷的測量和控制通過應(yīng)變儀來完成，同時應(yīng)變儀還將信號反饋到移動線圈系統(tǒng)以實現(xiàn)閉環(huán)控制，從而按照輸入?yún)?shù)的設(shè)置完成試驗。
