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        納米壓痕儀知識分享

        更新時間:2022-11-10      點擊次數:1674
          簡介
        納米壓痕儀種多樣,常見的有原位納米壓痕儀,SEM納米壓痕儀,國產納米壓痕儀等。
         
          主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試,測試結果通過力與壓入深度的曲線計算得出,無需通過顯微鏡觀察壓痕面積   。
         
        圖片:

         

         
         
          儀器介紹
         
          納米壓痕儀主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量,可以用于研究或測試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應力-應變曲線、疲勞、存儲模量及損耗模量等特性。可適用于有機或無機、軟質或硬質材料的檢測分析,包括PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩繪釉漆,光學薄膜,微電子鍍膜,保護性薄膜,裝飾性薄膜等等。基體可以為軟質或硬質材料,包括金屬、合金、半導體、玻璃、礦物和有機材料等   。
         
          主要應用
         
          半導體技術(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads);存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層);光學組件(接觸鏡頭、光纖、光學刮擦保護層);金屬蒸鍍層;防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具);藥理學(藥片、植入材料、生物組織);工程學(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業。
         
          技術特點
         
          1、*符合ISO14577、ASTME2546;
         
          2、光學顯微鏡自動觀察;
         
          3、熱漂移控制技術;
         
          4、可硬度、剛度、彈性模量、斷裂剛度、失效點、應力-應變、蠕變性能等力學數據;
         
          5、適時測量載荷大小;
         
          6、采用獨立的載荷加載系統與高分辨率的電容深度傳感器;
         
          7、快速的壓電陶瓷驅動的載荷反饋系統;
         
          8、雙標準校正:熔融石英與藍寶石 。

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